采用 PVD 的光學(xué)鍍膜

對于光學(xué)鍍膜而言，需要將許多薄層相結(jié)合以創(chuàng)造各種反射特性或?qū)觼硖岣吖鈱?dǎo)性。這些層通常應(yīng)用于批量鍍膜系統(tǒng)中的稱為“物理氣相沉積”(PVD) 的工藝中或用于蒸發(fā)工藝中，所有這些工藝都是在壓力范圍為 10-2 至 10-3 mbar 的真空條件下進(jìn)行。

光學(xué)鍍膜應(yīng)用需要能夠在真空室內(nèi)將期望的真空度維持在穩(wěn)定的數(shù)值的精密系統(tǒng)。Leybold 萊寶提供這些系統(tǒng)所需的所有真空產(chǎn)品，包括：

前級泵或“前級”真空泵

在該工藝的第一階段，必須使用“粗真空”泵從真空室中清除環(huán)境氣體和濕度，以便快速抽空真空室。我們擁有多個產(chǎn)品系列，包括 DRYVAC、VARODRY、SCREWLINE、SOGEVAC、TRIVAC 和 RUVAC 泵，能夠滿足您的工藝的具體要求。您可以將多個系統(tǒng)進(jìn)行組合，以獲得理想的抽取速度并降低擁有成本。

高真空抽取

在該工藝的下一步中，將工藝室抽至 5x10-6 mbar 及更低的真空度，并且需要持續(xù)使用氬氣、氮?dú)夂脱鯕獾葰怏w使其在工作壓力范圍內(nèi)保持在這一水平。某些工藝需要無油、無塵和無振動的工藝環(huán)境。在這種情況下，我們建議使用 TURBOVAC i、TURBOVAC MAG 或 COOLVAC 泵。對于要求不太高的工藝，擴(kuò)散泵（DIJ 和 DIP）更為適合。
高真空系統(tǒng)需要能夠在高氣體負(fù)載下持續(xù)運(yùn)行，并能長期運(yùn)行。

可靠且經(jīng)濟(jì)高效的裝置

Leybold 萊寶的泵專為鍍膜應(yīng)用而設(shè)計，數(shù)十年來一直備受客戶青睞。經(jīng)驗(yàn)還告訴我們，可靠性和正常運(yùn)行時間非常關(guān)鍵。因此，我們建議制定定期維護(hù)計劃和使用 OEM 備件。在您妥善保養(yǎng)真空系統(tǒng)的條件下，您還可以節(jié)省運(yùn)營成本。與您當(dāng)?shù)氐?Leybold 萊寶代表聯(lián)系，找出理想的解決方案，讓您的生產(chǎn)始終保持正常運(yùn)行。

工藝控制解決方案

確保您始終可以準(zhǔn)確地測量真空沉積工藝的真空條件。借助我們的全系列真空計，您可以確保始終能夠監(jiān)控工藝的理想條件。您的 Leybold 萊寶代表將非常愿意為您提供有關(guān)理想工藝控制解決方案的建議。檢漏和 RGA（殘余氣體分析儀）系統(tǒng)在工藝重復(fù)性和可靠性方面發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

系統(tǒng)整合

我們的泵經(jīng)過精心設(shè)計，可以出色地配合使用，但有時您的工藝需要更多的控制和監(jiān)測解決方案。在這種情況下，我們會安裝支持您的生產(chǎn)工藝的 PLC 或控制器。